愛發(fā)科ULVAC真空泵

愛發(fā)科ULVAC集團，是面向各個行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設(shè)備、真空儀器、材料、分析設(shè)備，為解決客戶難題，提升客戶企業(yè)價值，提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團。

在愛發(fā)科ULVAC集團中，Components Business Unit是負責開發(fā)、制造、銷售構(gòu)成綜合性真空設(shè)備多種多樣的真空配套產(chǎn)品的企業(yè)團體。真空設(shè)備的性能，是由追求的真空技術(shù)的各種真空配套機器來支撐的。

主要產(chǎn)品有：

真空泵(低?中真空)

真空泵(高真空)

真空計

氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測儀

檢漏儀

高速光譜橢偏儀

水晶振蕩式成膜控制器

真空閥

DC電源

DC脈沖電源

MF電源

愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。

愛發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列

干泵HR/UR系列，根據(jù)的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合最多可節(jié)省約88%的電力。另外，提高了維護性和降低了噪音，全部型號CE對應可能（可選）。

EB槍?EB電源

真空搬送機器人

分子間相互作用定量QCM設(shè)備

微量精密攪拌器

小型蒸發(fā)設(shè)備

低溫設(shè)備(CRYO)

熱處理?熱物性評估裝置

愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內(nèi)不使用真空油，因轉(zhuǎn)子和汽缸是不接觸的，可長時間穩(wěn)定運轉(zhuǎn)。

DIS-501

ULVAC

?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。

?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。

?可實現(xiàn)高極限真空。

?低振動低噪音。

?維護周期可通過計時表控制。

上海煜柯銷售愛發(fā)科ULVAC真空泵及真空配套產(chǎn)品，可以提供成套真空系統(tǒng)解決方案。